脱胶。
在光致抗蚀剂显影后发生的抗蚀剂图形脱离衬底或者倒塌、粘黏的现象。
通常因为衬底的黏性粘附力不足,或图形高宽比过大、重心过高,抗蚀剂图形底部粘附力不足以抵消显影或者后续清洗工序中水或者其他溶剂的表面张力的影响。
因此,需要对衬底做表面处理、涂増粘剤或者增加缓冲层来增加底部粘附力,或者控制高宽比在合适的范围,常见的安全高宽比为3:1,最大不应超过5:1,否则容易发生脱胶现象。
一种半导体硅片脱胶工艺,包括以下步骤:
1、将切割完毕的单晶硅棒倒置在装有特定夹具的中转车内;
2、鼓泡预清洗,即将单晶硅片放置在装满自来水的槽中利用鼓泡管进行预清洗,以去除硅片表面砂浆;
3、使用温水对硅片进行喷淋;
4、对硅片进行超声预清洗,即在将经过喷淋的单晶硅片放置在超声温水中进行浸泡,以去除硅片缝隙的砂浆;
5、使用温水浸泡脱胶,
6、温水鼓泡,将单晶硅片与粘接条之间脱离;
7、温水取片,即将脱离的硅片放置在温水中,擦拭硅片立面残留胶。上述工艺克服了现有脱胶工艺造成的半导体硅片不良率高,实现了不同厚度半导体单晶硅片切割完毕后自动脱胶技术,并能保证硅片表面无花片,崩边、缺口等不良。
peeling
n.剥皮,剥下的皮;
v.削[剥]去(水果或蔬菜的皮)( peel的现在分词 ); 覆盖层脱落,剥落; 剥落; 脱落
[英]['pi:lɪŋ][美]['pi:lɪŋ]
peeling smoother
剥离平滑
smoother[英]['smu:ðə][美]['smu:ðə]
n.弄平的人,路面平整机,修光工;
adj.光滑的; 平稳的( smooth的比较级 ); 磨平的; (言谈)流利的;
例句:
1.
If I was smoother, I'd pretend I didn't recognize you either.
如果我圆滑一点,我应该假装也认不出你。
peeling mask 中文翻译是撕拉面膜,是用来除去黑头,角质和油脂的
peeling
英 ['piːlɪŋ]
美 ['pilɪŋ]
n. [木] 剥皮,去皮;剥下的皮
v. 脱皮;剥落(peel的ing形式)
[网络短语]
peeling 敷面剥落式面膜,剥离,去皮
peeling test 剥离试验,剥落试验,剥离考试
paint peeling 涂漆层剥皮,油漆皮图片
metal
英 ['met(ə)l]
美 ['mɛtl]
n. 金属;合金
adj. 金属制的
vt. 以金属覆盖
n. (Metal)人名;(捷)梅塔尔;(瑞典)梅塔尔
[网络短语]
metal 金属,金属制品,重金属
Metal Slug 合金弹头,合金弹头系列,越南大战
Power metal 力量金属,强力金属,能量金属